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构成 / 适用领域
▶ 光学 UNIT
- Laser Repair 光学 unit 检查并修理缺陷
- Focus 自动调节
- 根据检查对象(Design)控制和补正照明
▶ 缺陷检查
- 可在Panel所有领域 (PAD, GOA(Gate-On-Array), ACTIVE) 高速检查
▶ a-Si TFT & LTPS TFT Pattern 不良检查
▶ Oxide TFT & LTPO TFT Pattern 不良检查
特点 / 功能