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air SEM

在Inline工艺大气压扫描电子显微镜检查分析

构成 / 适用领域

▶ SEM(Scanning Electron Microscope) / EDS(Energy Dispersive Spectrometer) / Review Optics

▶ 检查和分析 Display Inline 制造工艺中的不良

▶ 检查和分析半导体, 二次电池 Inline 制造工艺中的不良

特点 / 功能

▶ 可使用一个SEM column 检查/分析 11世代基板

▶ 可以在检测产品中不涂布Pt 用高分辨率SEM观察并分析元素

▶ SEM 倍率 : 最大 100,000倍,

▶ SEM 分解力 : ≤ 10nm

▶ EDS 分解力 : Mn Peak FWHM ≤ 129eV

▶ EDS 元素分析检出范围 : 最低 Carbon(Atomic No.6)